【摘要】:
晶圆激光切割机采用非接触式的切割方式,在晶圆表面无机械应力,切割精度高,切皮秒紫外光源热影响区域小,保证了切割边缘光滑平整,无毛刺,效果美观,切误差率极低,次品率低。激光切割清洁度较高,大大提高了切割良品率,被广泛应用于集成电路晶圆
晶圆又称为硅晶片,是半导体行业中的常见材料,由于晶圆的各种不同应用场景,晶圆的尺寸大小需要进行加工,晶圆的切割划片成为一到重要的工序。小编今天和大家介绍一款设备,一款可用于晶圆精细化切割打孔划片的设备—晶圆激光切割机。
晶圆激光切割机又称为紫外皮秒激光切割机乐发∨l,是一款超精细的微加工设备。半导体行业对于晶圆的切割要求较高,传统的金刚石砂轮划片切割已经满足不了日益精细化的工艺要求,激光切割工艺逐渐流行,成为现在晶圆硅片切割打孔划片的主流工艺。
乐发∨l晶圆激光切割机采用非接触式的切割方式,在晶圆表面无机械应力,切割精度高,切皮秒紫外光源热影响区域小,保证了切割边缘光滑平整,无毛刺,效果美观,切误差率极低,次品率低。激光切割清洁度较高,大大提高了切割良品率,被广泛应用于集成电路晶圆、GPP二极管晶圆、GPP可控晶圆的划线切割以及TVS晶圆的划线切割。
机型配置:
乐发∨l1.配置600*600mm的切割幅面,可进行硅晶圆任意形状切割划片
2.配置大理石平台,丝杆传动,切割精度大大提高
3.配置视觉识别系统,提高定位精度和切割精度
乐发∨l4.用专业的CAD / CAM自动编程软件,自动嵌套软件,最大限度节省原材料。
5. 带自动对焦高度跟随器,保持焦距恒定
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